SDI 1531 低噪聲加速度傳感器技術參數

1531型是一款表面安裝MEMS直流加速度計，專為高溫應用而設計。其性能規格與SDI 1521型幾乎相同，但進一步加入了更高溫度的材料。每個1531型微機電系統直流加速度計都是氮阻尼的、密封的、在氣候室環境中仔細測試的，并經過嚴格的溫度調節協議，以確保其在高達+175°C的溫度下持續可靠運行。

每個微型密封封裝結合了用于直流測量的MEMS電容式感測元件和包括感測放大器和差分輸出的定制集成電路。這種設計確保了該裝置對溫度變化和梯度保持相對不敏感。每個包裝都經過SDI的單獨測試、編程和校準，并在其頂部和底部表面標有序列號，以便于追溯。此外，每個單元都有一份可選的校準測試報告（1531-TST），顯示加速度計的測量偏差、比例因子、線性度、工作電流和頻率響應規格。