SDI 1531 低噪聲加速度傳感器技術(shù)參數(shù)

1531型是一款表面安裝MEMS直流加速度計，專為高溫應(yīng)用而設(shè)計。其性能規(guī)格與SDI 1521型幾乎相同，但進一步加入了更高溫度的材料。每個1531型微機電系統(tǒng)直流加速度計都是氮阻尼的、密封的、在氣候室環(huán)境中仔細測試的，并經(jīng)過嚴格的溫度調(diào)節(jié)協(xié)議，以確保其在高達+175°C的溫度下持續(xù)可靠運行。

每個微型密封封裝結(jié)合了用于直流測量的MEMS電容式感測元件和包括感測放大器和差分輸出的定制集成電路。這種設(shè)計確保了該裝置對溫度變化和梯度保持相對不敏感。每個包裝都經(jīng)過SDI的單獨測試、編程和校準，并在其頂部和底部表面標有序列號，以便于追溯。此外，每個單元都有一份可選的校準測試報告（1531-TST），顯示加速度計的測量偏差、比例因子、線性度、工作電流和頻率響應(yīng)規(guī)格。